蓝宝石抛光用哪种抛光粉?
蓝宝石抛光用哪种抛光粉?,qq:目前,在蓝宝石的CMP工艺中,常用的磨料主要包括金刚石、二氧化硅溶胶、氧化铈和氧化铝等磨料。实验数据表明,a-氧化铝抛光粉(VK-L30F,0.3um,球型)在蓝宝石抛光过程中的优势明显,效果。其一:抛光粉硬度比较:金刚石只用于传统的机械抛光,其硬度(莫氏10)比蓝宝石(莫氏9)硬度高,容易产生划伤,蓝宝石表面损伤度高,良率低。2)氧化铝(VK-L30F)的硬度与蓝宝石相当,颗粒球型,抛光速率高,不易起划伤,良率高,是比较理想的抛光材料。3)SiO2硬度(莫氏硬度【详细】
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抛光粉,蓝宝石抛光粉,2014-11-22 16:37:14