英国肖氏露点仪在微电子半导体生物制药用户的应用

电子级高纯气体洁净管道简介及英国肖氏露点仪在微电子半导体生物制药用户的应用

光电子、微电子、和生物制药等行业对传输敏感或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都采用光亮退火（BA）、酸洗或钝化（AP）、电解抛光（EP）及真空二次溶解（VIM+VAR）产品。

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A.电解抛光（Electro-Polished）简称EP。通过电化学抛光，可以*地提高表面形态及结构，使表层实际面积得到*大程度的减少。表面是一层封闭的、厚厚的氧化铬膜，能量接近合金的正常水平，同时介质数量也会降为*少--通常适用于电子级高纯气体。电子级高纯气体洁净管道简介及英国肖氏露点仪在微电子半导体生物制药用户的应用
Electronic grade high purity gas clean pipe
B.光亮退火（Bright Annealing）简称BA。在加氢或真空状态高温热处理，一方面消除内部应力，另一方面在管道表面形成一层钝化膜，以改善形态结构，减少能量水平，但不会提高表面粗糙度--通常适用于GN2，CDA,以及非工艺的惰性气体。
C.酸洗或钝化（Pickled & Passivated/Chemically Polished）简称AP和CP。管道经过酸洗或钝化，不会提高表面粗糙度，但可去除表面残存的颗粒，降低能量水平，但不会减少介层数量--通常使用于工业级管道。电子级高纯气体洁净管道简介及英国肖氏露点仪在微电子半导体生物制药用户的应用

D.真空二次溶解洁净管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)简称V+V，为住友金属砖利产品，经过真空状态下电弧条件下再次处理，有效提高了耐腐蚀性及表面粗糙度--通常适用在腐蚀性较强之高纯电子级气体上，如：BCL3，WF6，CL2，HBr等

英国SHAW在线露点仪Superdew3

1． 量程可选如下：`

 SUPER-DEW3 -R    红点（R）：   -80～-20℃

 SUPER-DEW3 -P    紫点（P）：   -100～0℃

 SUPER-DEW3 -G   灰点（G）：   -80～0℃

 SUPER-DEW3 -Y   黄点（Y）：   -60～0℃

SUPER-DEW3 -R    银点（S）：   -100～-20℃

2、英国SHAW在线露点仪Superdew3特性： 

★ 在线测定各种气体的露点温度

★ 干燥气体时的保证精度为1PPM电子级高纯气体洁净管道简介及英国肖氏露点仪在微电子半导体生物制药用户的应用

★ 室内空气中一分钟自动校准

★ 大型背光式液晶数字显示

★ 标准的4～20MA或0～1号输出

技术参数

二次表：（SuperDew）

★ 显示精度：1%

★ 安装类型：面板安装, 开口尺寸：135mmx66mmx175mm（深）

★ 显示：3 1/2位带背光的数字显示

★ 供电：220V AC @50Hz

★ 输出：4-20mA标准信号输出, 两路继电器高低报警输出240V @3A

★ 校准：在空气中自动校准

★ 可任意调节的高低报警输出

★ 传感器到仪表之间的距离可达1千米

★ ISO 9002质量控制

★ 可选量程:-100℃～0℃/-80℃～0℃

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